ULVACUTM3400A愛發科渦輪分子泵維修-半導體制造設備

廣州潽拓維修愛發科系列真空泵，ULVAC UTM3400A愛發科渦輪分子泵維修-半導體制造設備

采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化，實現了省配線，省空間。

特點

泵體和控制器一體化泵體和控制器之間不需要複雜的布線工作。

安裝方向自由安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。

産品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。

廣域大流量設計，适用于輕工藝泵速可以在25％至100％的範圍内變化，腔室的壓力可以調節。

高耐久性和安全性已經通過各種安全确認測試，例如空氣沖擊測試和觸地測試。